5月23日開盤消息，集成電路設備概念報漲，萬業企業領漲，北方華創等跟漲。集成電路設備概念股有：

萬業企業：5月20日消息，萬業企業5月20日主力資金凈流出2772.75萬元，超大單資金凈流出1157.32萬元，大單資金凈流出1615.43萬元，散戶資金凈流入2185.91萬元。

2021年報顯示，萬業企業公司實現營收8.8億，同比去年增長-5.54%；毛利率56.22%。

控股孫公司擬6.58億元出售多臺12英寸集成電路設備。

北方華創：5月20日該股主力凈流出2798.03萬元，超大單凈流出1590.38萬元，大單凈流出1207.65萬元，中單凈流出1.26億元，散戶凈流入1.54億元。

2021年北方華創營收96.83億，同比去年增長59.9%；毛利率39.41%。

公司集成電路設備產品的銷售額約占國產集成電路設備銷售總額的12%。

中微公司：5月20日消息，中微公司資金凈流出1995.3萬元，超大單資金凈流出1258.9萬元，換手率0.15%，成交金額5692.99萬元。

2021年公司營收31.08億，同比去年增長36.72%；毛利率43.36%。

中微開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工微米級和納米級的各種器件。

至純科技：5月20日消息，至純科技主力資金凈流入74.56萬元，超大單資金凈流出361.1萬元，散戶資金凈流入570.26萬元。

公司2021年實現營業收入20.84億，同比去年增長49.18%，近4年復合增長45.68%；毛利率36.19%。

公司主要為電子、生物醫藥及食品飲料等行業的先進制造業企業提供高純工藝系統的整體解決方案，業務包括高純工藝系統與高純工藝設備的設計、加工制造、安裝以及配套工程、檢測、廠務托管、標定和維護保養等增值服務。

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