集成電路裝備行業概念股票有： 萬業企業、長川科技、至純科技、普利特。

萬業企業（600641）：

2021年報顯示，萬業企業凈利潤3.77億，毛利率56.22%，每股收益0.41元。擬與微電子所牽頭設立集成電路裝備集團。

3月15日消息，萬業企業5日內股價上漲4.11%，該股最新報20.410元漲0.2%，成交6.67億元，換手率3.49%。

3月14日消息，資金凈流入1.47億元，超大單資金凈流入7757.23萬元，成交金額6.67億元。

至純科技（603690）：

2021年，至純科技公司凈利潤2.82億，近五年復合增長為54.62%；毛利率36.19%，每股收益0.89元。公司于2020年8月17日晚發布非公開發行A股股票預案，擬向不超35名特定投資者發行不超78,005,377股，募資不超18.6億元用于半導體濕法清洗設備擴產項目、 半導體晶圓再生二期項目、光電子材料及器件制造基地建設項目和補充流動資金或償還債務。半導體晶圓再生二期項目總投資6億元，計劃在原晶圓再生一期項目的基礎上，進一步擴充晶圓再生項目產能。（已核準）公司于2021年8月24日晚公告，擬公開發行不超11億元可轉債，用于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發及產業化項目、至純北方半導體研發生產中心項目、集成電路大宗氣體供應站及配套項目以及補充流動資金或償還銀行貸款。集成電路大宗氣體供應站及配套項目總投資3.89億元，項目將基于公司在大宗氣站建設相關的技術和經驗積累，為上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司12英寸集成電路研發制造生產線，建造大宗氣體供應站及其配套設施。

3月15日消息，至純科技今年來漲幅上漲4.01%，最新報40.730元，漲0.64%，成交額6.46億元。

3月14日該股主力資金凈流入4476.32萬元，超大單資金凈流入45.72萬元，大單資金凈流入4430.6萬元，中單資金凈流出673.21萬元，散戶資金凈流出3803.11萬元。

普利特（002324）：

2021年，普利特公司凈利潤2374.82萬，近五年復合增長為-39.24%；毛利率10.84%，每股收益0.02元。持股25%理碩科技股權，截至20年8月，標的目前正處于產品研發階段，主要方向是KrF和ArF、TFT、PSPI等光刻膠產品的企業；公司控股子公司上海普利特半導體材料投資了江蘇影速集成電路裝備1.27%的股權，該公司主要生產激光直寫的光刻機設備，主要應用在PCB、FPC、HDI和集成電路掩膜板。

3月15日普利特收盤消息，7日內股價下跌8.04%，今年來漲幅下跌-12.74%，最新報14.720元，跌1.81%，市值為149.77億元。

3月14日消息，普利特資金凈流出4589.32萬元，超大單資金凈流出2251.91萬元，換手率1.77%，成交金額1.77億元。

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