2023年半導體設備概念股有：

至正股份：11月9日消息，至正股份資金凈流出218.66萬元，超大單凈流出6.36萬元，換手率5.1%，成交金額1.7億元。

子公司蘇州桔云主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，主要產品包括清洗設備、腐蝕設備、涂膠顯影設備、去膠設備、烘箱設備、分片設備等，產品線較為豐富。蘇州桔云專注于后道先進封裝領域設備的研發，并逐步向前道拓展，圍繞清洗設備、烘箱設備等持續深耕細作，形成自身獨特的產品及技術優勢，并憑借其較高的性價比優勢和定制化、快速響應的客戶服務優勢不斷擴大市場份額。

在近7個交易日中，至正股份有5天上漲，期間整體上漲20.99%，最高價為45.65元，最低價為35.86元。和7個交易日前相比，至正股份的市值上漲了7.14億元。

文一科技：資金流向數據方面，11月10日主力資金凈流流入3925.03萬元，超大單資金凈流入1.63億元，大單資金凈流出1.24億元，散戶資金凈流入5529.83萬元。

公司是國內老牌的模具制造企業，半導體封裝板塊產品有半導體塑料封裝模具和設備等。旗下全資子公司銅陵富仕三佳機器有限公司已成為年生產能力達800臺的半導體設備和LED點膠機設備及CY系列機器人生產線專業制造商，主要產品有FSTM250T/300T/350T/450T-7HS（伺服型）系列塑封壓機、FSAM120T/170T系列自動封裝系統等。

近7個交易日，文一科技上漲34.49%，最高價為22.28元，總市值上漲了18.58億元，2023年來上漲59.51%。

芯源微：11月9日資金凈流出2660.25萬元，超大單凈流出1596.81萬元，換手率2.54%，成交金額5.75億元。

公司是國內目前唯一能提供前道涂膠顯影設備的廠商，offline涂膠顯影機產品已實現批量銷售，I-line涂膠顯影機已經通過部分客戶驗證并進入量產銷售階段，2021年凈利潤增長58.41%。

回顧近7個交易日，芯源微有5天上漲。期間整體上漲13.71%，最高價為143.92元，最低價為168.68元，總成交量1965.5萬手。

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